半導體工業隨著汽車製造，人工智能，物聯網，工業4.0等 域的飛速發展，麵臨著產能，可靠性，供應鏈成本等重大挑戰。雅斯科的壓力測量技術和產品，包括配備CVD傳感元件的高純壓力傳感器以及使用 Si-Glas? 超薄單晶矽膜片可變電容傳感元件的微差壓傳感器，在諸如氣體控製麵板，氫氣壓力檢測，以及潔淨室關鍵環境控製等應用 域，為半導體製程和設備提供精確的測量和有效的保障。

　　

　　高純氣體的純度至少為99.999%，其清潔度水平超過製藥行業的 萬倍甚至更多。如此高標準的要求是基於半導體製程的精密性，也因為製程 旦被汙染所造成的損失巨大。實際上某些設備涉及多達400個工藝步驟，也增加了被汙染的機率。

　　

　　因此壓力傳感器必須具有高準確性，高潔淨度，接液材質應能與多種氣體兼容，同時應確保介質和顆粒瀦留的可能性降到 低程度。部分應用場合需要符合氣密性要求。

　　

　　雅斯科ZT/ZX/ZL係列高純壓力傳感器基於CVD傳感元件平台，是超純應用的專用壓力傳感器產品，其產品特性包括能適應不同介質的接液元件材質，如316L, A286，Co-Ni 合金等，也包括VCR接頭，以及符合規範的表麵光潔度和測量精度。每台產品都經過泄漏檢測(<5 x 10?? atmcc/s)以及雙重包裝處理，確保完整性和潔淨度。

　　

　　CVD傳感元件技術，是以化學氣相沉積的工藝(Chemical Vapor Deposition)，使多晶矽薄膜與接液基座形成原子 別的牢固結合，是確保ZT/ZX壓力傳感器的穩定性與可靠性的關鍵。

　　

　　雅斯科GX/CX/DX等微差壓傳感器產品基於MEMS製造的的Si-Glas? 超薄單晶矽膜片可變電容傳感元件，采用雅斯科TruAccuracy?技術進行校驗, 充分考慮零點和滿量程誤差，可選SpoolCal?設計，允許在線標定和校驗。

　　

　　Si-Glas傳感元件使用的矽膜片具有良好的彈性和延展性，金屬和晶體通過濺射的方式與矽片牢固結合，因此傳感元件具有良好的溫度範圍和安裝位置變化的適應性，具有良好的長期穩定性。這是雅斯科特有的技術，也是確保雅斯科的微差壓傳感器精確可靠的關鍵。